高温抗氧化性：高温氧化气氛下，元件的表面生成一层致密的石英（SiO2）保护层以防止Mosi2 继续氧化。当元件温度大于1700°C，熔点为1710°C的SiO2保护层熔融，由于表面的张力的作用，SiO2融聚成滴，而失去保护作用。元件在氧化气氛下，再继续使用时，SiO2保护层重新生成。

必须指出的是，元件不宜在400-700°C范围内长时间使用。否则元件会因低温的强烈氧化作用而粉化。